库号:M463016 品牌/制造商: 美国INFICON 英福康 型号:Transpector XPR 3+
产品名称:INFICON残余气体分析仪(Transpector XPR 3+)
品牌:美国INFICON
产地:美国
型号:Transpector XPR 3+
残余气体分析仪Transpector XPR 3+美国INFICON英福康的介绍:
扩大的压力范围 RGA - 传感化创新
监测并控制快速过程变化
新的 Transpector XPR 3+ 残余气体分析仪 (RGA) 提供业内**的测量速度,以监测并控制现代半导体和显示屏生产所需的快速过程变化。Transpector XPR 3+ 非常适合于现场空气漏点、气体纯度、碳氢化合物和污染监测。相比定期上升率测试,Transpector XPR 3+ 进行的实时测量可提供卓越的产品保护
通过**化工具使用时间促进盈利能力
Transpector XPR 3+ RGA 是用于溅射压力范围应用的经实践验证的四极和双离子源传感器。无需压力转换设备,部件使用寿命长,能快速检测并诊断问题,从而**化工具可用性、产品吞吐量和产量。传感器可在高真空到 20 mTorr 范围连续工作,无需泵。Transpector XPR 3+ 双离子源腔室设计用于限制涂层,以保持离子源灵敏度,并延长传感器平均维护时间。
从高真空到 PVD 流程压强条件下,能够高灵敏度地检测空气泄漏和污染,实时保护晶圆和面板
**化 PM 效率和工具正常使用时间,具有快速可靠的腔室条件
通过延长使用寿命、防污染、双离子源设计**小化总体拥有成本;无需泵,即可监测高达 20 mTorr 的压强。低压 EM 变体可提供成本敏感的替代选择
通过强大数据采集与同步实现无缝工厂集成和可靠阻断
通过定制配方优化增强独特生产能力
通过即时现场专家响应保护关键过程需求
PVD 和溅射过程模块
预清洗模块
非群集 PVD 工具
夹钳式除气模块