库号:M938069 品牌/制造商: 美国INFICON 英福康 型号:HPG400
产品名称:INFICON高压热电离皮拉尼真空计(HPG400)
品牌:美国INFICON
产地:美国
型号:HPG400
高压热电离皮拉尼真空计HPG400美国INFICON英福康的介绍:
INFICON 高压热电离 Pirani真空计 HPG400 将高压热电离技术与 Pirani 传感器整合在一个体积小、价格低的规管中,可测量 2×10-6 mbar 至大气气压(1.5×10-6 Torr 至大气气压)范围内的压力。HPG400 提供高可重复性和再现性压力测量,实现精确控制镀溅过程压力。
HPG400 可节省成本和工具空间,降低真空系统的安装与设置的复杂性
高压热电离可以准确可靠地测量 1 X 10-5 至 1 mbar 范围内的压力,进而改善过程控制
用户可选的热电离发射在 5 X 10-2 至 1 mbar 之间启动
皮拉尼联锁保护丝极,防止过早烧毁
备有可选的图形显示器和现场总线接口
高真空皮拉尼自动调节,减少操作员的干预
符合 RoHS 标准
半导体制造、电子工业和媒体工业中的溅镀应用
工业镀膜
低真空至高真空范围内的一般真空测量和控制